травление плазменное

См. также в других словарях:

• плазменное травление — Сухое травление, при котором полупроводниковая подложка погружается в плазму, содержащую травящие реагенты; химическая реакция травления происходит с одинаковой скоростью в любом направлении, то есть травление изотропно; может быть очень… …   Справочник технического переводчика

• Травление — Не следует путать с Травля (значения). Фольгированный текстолит …   Википедия

• травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• плазменное ионное травление — joninis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion assisted plasma etching vok. Plasmaionenätzen, n rus. плазменное ионное травление, n pranc. décapage ionique par plasma, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• плазменное травление в цилиндрическом реакторе — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… …   Radioelektronikos terminų žodynas

• плазменное травление — plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etching vok. Plasmaätzung, f rus. плазменное травление, n pranc. corrosion par plasma, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

• ТРАВЛЕНИЕ — химическое, удаление части поверхностного слоя монокристалла, заготовки или изделия с помощью топохим. р ций. Проводится с использованием р ров, расплавов, газов (газовое Т.) или активир. газов (напр., плаз мохимическое Т.). Собственно химическое …   Химическая энциклопедия

• высокочастотное плазменное травление — aukštadažnis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radio frequency plasma etch vok. Hochfrequenzplasmaätzen, n rus. высокочастотное плазменное травление, n pranc. décapage par plasma haute fréquence, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• микроволновое плазменное травление — mikrobanginis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microwave plasma etching vok. Mikrowellenätzung, f rus. микроволновое плазменное травление, n pranc. décapage microhertzien par plasma, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• Плазменная обработка — процесс обработки материалов при помощи плазмы с целью изменения физических или химических свойств поверхности обрабатываемого объекта. Подвидами плазменной обработки являются: Плазменная активация; Плазменная модификация; Плазменное травление;… …   Википедия

• Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог …   Википедия